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微影製程再進化！複雜電路的祕密 - 科技大觀園

方劭云的另一項主要研究「自對準多圖案微影」（Self-Aligned Multiple Patterning, SAMP），目的就是解決這個問題。這個做法巧妙地利用沉積與蝕刻技術，先製造出又細又 ...

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