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Alignment mark 原理
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對準標記 - 中文百科全書
光刻機的晶圓對準系統首先會調整晶圓的位置,使之與晶圓工件台初步對準;掩模對準系統也會調整掩模的位置,使之與掩模工件台初步對準。然後,光刻機的對準系統(alignment ...
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