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半導體＆ ETCH 知識，你能答對幾個？ - 吳俊逸的數位歷程檔

何謂AEI. 答：After Etching Inspection 蝕刻後的檢查. AEI目檢Wafer須檢查哪些項目: 答：(1)正面顏色是否異常及刮傷(2) 有無缺角及Particle (3)刻號 ...

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