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SW221是一台高精度的黃光制程光學檢測設備(ADI)

高精度晶圓黃光制程檢測量測設備(ADI/AEI); 巨觀檢測箭影、光阻殘留、曝光異常; 超微觀檢測Cell異常; 量測CDAA、CD bar、光罩曝光偏移以及版本異常 ...

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