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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊

2.作業範疇. 長晶. 磊晶. 拋光. 研磨. 切割. 拉晶. 多晶矽. 磊晶片. 單晶矽. 切割片. 研磨片. 拋光片. Page 32. - 24 -. 本作業主要的研究對象為八吋矽晶圓拋光片，此矽晶 ...

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