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無塵室原型完工18吋晶圓進入測試階段

Sematech的目標是完成一套採用32奈米製程的18吋晶圓「示範工具」，以及一套採用22奈米製程的「試產工具」；但還是有人認為18吋晶圓廠將因研發成本太高，而永遠不會成真 ...

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