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6吋晶圓用途
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https://books.google.com.tw/books?id=5DZKDAAAQBAJ&pg=PA37&lpg=PA37&dq=6%E5%90%8B%E6%99%B6%E5%9C%93%E7%94%A8%E9%80%94&source=bl&ots=9xF8fcwUla&sig=ACfU3U1zfu7gK9WiPt-V0TUxZA-LJCHyfw&hl=zh-TW&sa=X&ved=2ahUKEwiy7Lmm6_T4AhWVvosKHXGeBn8Q6AF6BQjMAhAD
臺灣產業的轉型與創新 - 第 37 頁 - Google 圖書結果
這個時期,工業技術研究院 VLSI 計畫的 6 吋晶圓實驗工廠已達到完成階段。張院長認為如果能將龐大資金的設備轉投入商業用途,民間企業便能夠擁有 VLSI 工廠。
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