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氧化铈颗粒的制备方法、研磨颗粒及包含其的研磨用浆料组合物 ...

根据本文中公开的另一实施方式的氧化铈颗粒的用途为适用于半导体晶片研磨工序的研磨 ... 所述氧化铈颗粒的一次颗粒的平均颗粒尺寸可以为28nm以下。

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