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十二吋矽晶圓在快速熱製程中溫度均勻性之研究

近幾年，晶圓尺寸加大，微電子元件發展傾向於縮小積體電路線體尺寸，降低製程的加熱預算 ... mm，150 mm直徑(6吋) 厚度0.675 mm和200 mm直徑(8吋) 厚度0.725 mm的矽晶圓。

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