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FCS - Flow Control System

注1：此規格僅限流量控制器。關於質量流量計的規格，請詢問 。 注2：. 是以流量（SCCM、SLM）0℃，101.3kPa abs.（1atm）換算校正。 M. 規. □ 特點. □ 主要機能與規格.

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