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先進製程控制技術(APC)導論- 吳俊逸的數位歷程檔

以一座八吋晶圓廠來說，投資額約在200億~300億，而12吋晶圓廠，投資額更 ... 因此每個FAB廠對於APC的說法就有些差異，例如將FDC歸類為AEC而不是APC。

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