關鍵字:晶圓(Wafer);鑽石砂輪研磨機;PLC控制. 附12吋直徑、厚度1.5mm以内的晶圓片,並可作逆時旋轉。 ... 8. 啟發式演算法應用於12吋晶圓廠晶舟配置與排程之研究.
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