12吋晶圓 單片型. 1.254m光波非接觸式照射,無電漿電荷擊穿問題,最能保護精細IC電路 2.適用12吋/8吋晶圓,及薄型工件(EX光學鏡頭/觸控玻璃) 3.採用高強度柵型低壓汞燈; ...
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