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矽基板上氮化物發光二極體之技術發展

為了增強在矽基板上所生長的氮化銦鎵/氮化鎵多重量子井發光二極體的出光效率，我們設計了(110)面的圖案化矽基板，其條狀圖案沿著[1-10]Si || [11-20]AlN 的方向。

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