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國立交通大學機構典藏：利用四氟化碳電漿處理於多晶矽及氮電 ...

The Study of LTPS-TFTs with CF4 plasma pre-treated poly-silicon and N2 plasma post-treated HfO2 Gate Dielectric Layer. 作者: 黃柏文 · Huang, Bo-Wen

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