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(12)发明专利

喷洗步骤,以去除该载膜上的残留光阻与粒子;执行一去离子水清洗步骤,以去除所述二甲. 苯或丙烯乙二醇甲基醚的溶液;以及执行一干燥 ... 均被放置于一暗室或一黃光室内。

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