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台積電晶圓傳送盒清洗機台100％回收熱水再利用 - 自由財經

... 透過加裝泵浦與冷熱水自動控制切換閥門，在確保水溫穩定的前提下，利用泵浦將機台未運作時的熱水全部導回熱水器繼續使用，達到100%回收效益。

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