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應用感應加熱退火於溶膠凝膠法備製鋯鈦酸鉛薄膜與其特性分析

本研究嘗試應用感應加熱於退火製程，其高週波. 感應加熱系統設備架構圖如圖1。 圖1 高週波感應加熱系統設備架構圖. 將晶圓已鍍製好已焦化未經過退火的PZT薄膜.

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