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應用於提升表面型微加工的光學讀寫頭功能之微光學次系統

為了改善這些問題，本論文提出了以在可見光波段具有高穿透性的低應力氮化矽取代原先的多晶矽，並結合光柵與微型致動器設計出一可切換式光柵，其可發展成一可切換單/多 ...

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