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高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡(HRFEGSEM) - 清華大學貴重 ...

加速電壓：0.1kV ~ 30kV; 電子光源：In-lens Schottky Field Emission Electron Gun; 放大倍率：x 10 ~ x 1000k; SEI 解析度：1.0 nm（at 15kV）、 1.3 nm（at 1kV） ...

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