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電子顯微鏡鎖定奈米製程檢測| 台灣英文新聞| 2013-11-28 07:55:37

中央社記者鍾榮峰台北28日電）測試設備大廠愛德萬測試(Advantest)推出多功能整合量測掃描式電子顯微鏡系統，因應1X奈米製程光罩缺陷檢測需求。

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