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顯影方式演進
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先進半導體製程量測技術提升晶片良率的幕後功臣
工研院量測技術發展中心正研究員顧逸霞,突破傳統奈米量測的方式,研發出世界領先 ... 但由於積體電路製程線寬愈做愈小,從65奈米製程演進到45奈米、32奈米、22奈米…
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「顯影方式演進」
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