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关于氮化铝单晶的湿法化学蚀刻的研究报告 - 电子工程专辑

通过类比报道的氮化镓的结果，我们得出结论，该基面具有氮极性。蚀刻也发生在从基面倾斜小于90°的晶面上(图2d)。该晶体的小丘密度约为5×107 cm-2。

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