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第一章序論 - 國立交通大學機構典藏

密度變壓耦合非等向性乾式蝕刻機台，如(圖2-1)所示，可分為四個. 部份溫度控制器、遙控操作控制面板、幫浦和蝕刻機主體，目前所配. 置的蝕刻氣體有氯氣、氧氣、氦等； ...

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