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奈米科技導論 - 第 4-26 頁 - Google 圖書結果

圖 4-24 等向性與非等向性蝕刻非等向性蝕刻:化學作用的反應速率,除了與物質的化學組成有關以外,和物質的微結構與結晶性質有關。對於有特定晶格方向的單晶材料而言, ...

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