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乾蝕刻技術 - 微奈米光機電系統實驗室

在進行蝕刻時如果對每個方向(xyz) 的蝕刻速率都一樣則稱為等向性蝕刻. (isotropic etching) ，這種蝕刻線寬會變大而側壁(side wall) 呈弧形，稱額外. 被蝕刻的部份為切底( ...

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