... 濕式蝕刻」與「乾式蝕刻」兩種,這裡我們主要介紹目前先進製程使用的乾式蝕刻。 ... 乾式蝕刻. Dry etching. 電漿. 乾式蝕刻機. 氟化氫氣體. 等向性蝕刻. 非等向性 ...
確定! 回上一頁