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蝕刻輪廓

化學蝕刻、物理蝕刻、複合蝕刻. • 選擇性蝕刻或整面全區蝕刻. • 選擇性蝕刻將IC光阻上的設計圖形轉移至晶圓表面層. 蝕刻輪廓. 光阻. 光阻. 薄膜. 基片. 基片. 非等向性.

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