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反應式離子蝕刻機／Reactive Ion Etching

本中心的電漿蝕刻統：反應式離子蝕刻機(Reactive Ion Etching)，結合了物理性的離子轟擊與化學反應性蝕刻，兼具非等向性與高蝕刻選擇比的優點，製程氣體 ...

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