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非等向性蝕刻
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Chap9 蝕刻(Etching)
等向性蝕刻:薄膜遭受每一個方向均等量的蝕刻所致. ◇非等向性蝕刻:薄膜遭受固定方向,尤其是垂直方向的蝕. 刻,所造成的結果. 底材. 底材. 薄膜. 光阻. 蝕刻方向.
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「非等向性蝕刻」
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