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台積電改裝無塵室外氣空調箱節電1.49億度| 產業熱點 - 經濟日報

因介質板噴霧加濕系統受限於空調箱尺寸，無法增加霧化水顆粒與空氣接觸時間，洗滌水泵用電量占無塵室空調氣水輸送用電量20%。 為提高能源使用效率，台積電 ...

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