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電漿表面處理
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行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告- 使用脈衝電源 ...
中文摘要. 本研究之大氣電漿供應系統不需受限在真空. 環境下即可產生電漿源進行材料表面處理,因此. 可以節省龐大、昂貴的真空設備支出及運轉維護.
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