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TWI620228B - 電漿處理裝置與電漿處理方法

在步驟600中，在一電漿處理腔體內產生一平面電漿。在本實施例中，產生平面電漿的電場例如在2KV/cm~30 KV/cm之間，且調整平面電漿的電場，便能改變試片的表面的親、疏水性。

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