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SEM 表面碳斑預防與清理 · EDS分析中碳干擾的預防 · 生物碳膜親水性處理 · 蝕刻/灰化: (建議使用石英chamber) 如利用O2 蝕刻鑽石, 高分子, 鐵氟龍。 利用CF4 蝕刻SiO2, Si3N4

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