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電漿蝕刻
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大氣電漿微米級圖案化技術 - 元智大學
隨著半導體工業的發展,在1980 年代的時候開始採用蝕刻技術製備更加精細的圖案表面,隨著更多的微奈米加工技術的發展和應用,已經能在矽晶片表面製備非常複雜而可靠的微奈 ...
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「電漿蝕刻」
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