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電漿蝕刻
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辛耘獲美Plasma-Therm LLC 中、台代理權 - 鉅亨
辛耘指出,電漿加工,由於其屬於「乾式製程」,可用於薄膜的鍍膜(氣相沉積)、去膜(蝕刻、灰化、去光阻)、表面處理(改質、清潔)等,由於其具有節水節能、 ...
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「電漿蝕刻」
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