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電漿(Plasma)(註2) - 教育百科

電漿態就是指含有等量正負離子對的氣體狀態，仍屬處於電中性。 ... 在半導體的製程中，蝕刻被用來將某個材質字晶圓表面所移除，而電漿蝕刻是目前最常用的蝕刻方式。

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