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電漿蝕刻
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電漿(Plasma)(註2) - 教育百科
電漿態就是指含有等量正負離子對的氣體狀態,仍屬處於電中性。 ... 在半導體的製程中,蝕刻被用來將某個材質字晶圓表面所移除,而電漿蝕刻是目前最常用的蝕刻方式。
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「電漿蝕刻」
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電漿蝕刻步驟
電漿蝕刻機
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