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電漿蝕刻
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課程名稱: 先進電漿蝕刻技術. 課程內容: 本課程是先對電漿原理與其應用於半導體蝕刻製程做介紹,並說明目前電漿蝕刻在奈米元件製作上所遇到的問題點,之後介紹可解決 ...
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