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電漿蝕刻
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半導體& ETCH 知識,你能答對幾個? - 吳俊逸的數位歷程檔
何謂濕式蝕刻? 答:利用液相的酸液或溶劑;將不要的薄膜去除. 何謂電漿Plasma?
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