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如何在电浆蚀刻制程中控制晶圆的制程均匀度？ - 手机搜狐

因为相同的电浆会产生两种类型粒子，而且离子对中子的相对数量是息息相关的。因此，参数的影响通常会被用来控制电浆，如电浆供应源功率和蚀刻腔体压力，其也是彼此相关 ...

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