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電漿蝕刻
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國立中央大學光電中心HDP 高密度電漿蝕刻機使用規範
HDP 高密度電漿蝕刻機使用規範. 一、目的:為維持本實驗室正常運作且發揮其最大功能,特訂定此管理辦法,供使用者依循。 二、設備型號:Nextral 860L TC300.
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