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電漿蝕刻
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解決方案| 蝕刻應用 - 元佑實業
濕蝕刻是使用化學溶液,經由化學反應以達到蝕刻的目的;而乾蝕刻通常是一種電漿蝕刻,利用電漿中離子撞擊晶片表面的物理作用,或者是電漿中活性自由基與晶片表面原子間 ...
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「電漿蝕刻」
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