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美商科林研發(Lam Research)於乾蝕刻設備之關鍵技術與市場 ...

於半導體製造中，主要可分為鍍膜、微影、蝕刻、離子佈植、氧化擴散等製程， ... 時間、成本逐漸增加圖2 Lam乾蝕刻設備具高度智慧化圖3 電漿蝕刻設備因 ...

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