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淺談電漿蝕刻對低溫複晶矽薄膜電晶體之損傷效應 - 材料世界網

可是隨著面板與基板的尺寸越來越大，製程的穩定性與可靠度是邁入量產技術必須考量的重要因素，本文將以低溫複晶矽薄膜電晶體製程的觀點，闡述乾式蝕刻所 ...

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