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電子材料 - 第 167 頁 - Google 圖書結果

... 蝕刻機( ECR etcher ) ECR 電子迴旋共振是利用微波( microwave )電源( 2.45 GHz , 1G = 10 ° + 億) ,和導波管( waveguide ) ,使氣體在高真空的氣室被游離為電漿( ...

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