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Lam 蝕刻機台

蝕刻 製程還能創建高的柱狀特徵，例如，用在矽穿孔(TSV)中來連接晶片、以及用在微機電系統(MEMS)中。 Lam Research的電漿蝕刻系統可提供形成精確結構所 ...

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