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電漿蝕刻機

離子電荷會以垂直電漿蝕刻機PI01. 產品功能. 適用於太陽能電池製程，對矽晶片之邊緣做蝕刻. 產品特色. ．高密度電漿源. ．處理速度快、產能高、可靠度高.

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