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乾式蝕刻所使用的機台稱為「乾式蝕刻機」，如＜圖一＞所示，微波主要是外加電磁波使氣體原子轉變成氣體離子(電漿)，同時在矽晶圓上外加正電壓，吸引帶 ...

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