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電漿蝕刻機
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電漿乾蝕刻技術設備
產品說明 •水平式電漿蝕刻設備 •乾式電漿蝕刻 •電漿減薄技術 •電漿除膠渣技術 •電漿除殘膠技術 •電漿表面改質技術 →設備特色 •高速乾式蝕刻製程 •高蝕刻均勻性
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