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「蝕刻升級篇」剖析干蝕刻和濕蝕刻的作用、製程及其原理

濕蝕刻機台便宜，蝕刻速度快，但難以精確控制線寬和獲得極其精細的圖形並且需要大量 ... 電漿的組成：電子、離子、原子團、各種中性原子和分子。

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